INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 9)

TOC - 1
PN
07
4-
50
5-
P1
F
IC6 Operating Manual
Table Of Contents
Cover Page
Title Page
Trademarks
Disclaimer
Copyright
Declaration Of Conformity
Warranty
Chapter 1
Introduction and Specifications
1.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.1 Related Manuals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.2 IC6 Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.2.1 Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.2.2 General Safety Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.2.3 Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
1.2.4 Main Power Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.3 How To Contact INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.3.1 Returning Your IC6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4 IC6 Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.1 Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.2 Screens and Hierarchy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.3 IC6 Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.1 Recipe Storage & Datalogging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.2 Sensor Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.3 Source Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.4 Material Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.4.3.5 Process Layer Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.3.6 General Global Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.4 Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13
1.4.5 DAC Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14
1.4.6 Logic Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.4.7 Relays / Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.4.8 Remote Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.9 Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.10 Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16