INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller User Manual
Page 14
TOC - 6
PN
07
4-
50
5-
P1
F
IC6 Operating Manual
Logic Statement Setup
Logic Statement Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
Editing the Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
Logic Statement Groups. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
Logic Statement Editing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-4
AND/OR and ON Logic Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
ON Operator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
IF Event Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-7
THEN Action Definitions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-16
Logic Statement Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-20
Remote Communications
Remote Communication Configuration Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
Physical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
RS-232C Serial Port. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
TCP/IP Ethernet Port . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
Network Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
How to Set Up the Network Protocol on the PC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
Message Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
Command Packet (Host to IC6 Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
Response Packet (IC6 to Host Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
Timeouts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
Data Type Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
REAL_xXx and REAL_xFx. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
TIME. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
ENCODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
INTEGER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
LOCKCODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
Communication Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11
Query and Update Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11
Status Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
HELLO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
Query Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
Update Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-13
Query General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14
Update General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14
Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18
Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18