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INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller User Manual

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TOC - 6

PN

07

4-

50

5-

P1

F

IC6 Operating Manual

Chapter 9

Logic Statement Setup

9.1

Logic Statement Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1

9.2

Editing the Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2

9.2.1

Logic Statement Groups. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3

9.2.2

Logic Statement Editing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-4

9.2.3

AND/OR and ON Logic Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6

9.2.3.1

ON Operator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6

9.3

IF Event Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-7

9.4

THEN Action Definitions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-16

9.5

Logic Statement Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-20

Chapter 10

Remote Communications

10.1

Remote Communication Configuration Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1

10.2

Physical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1

10.2.1

RS-232C Serial Port. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2

10.2.2

TCP/IP Ethernet Port . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2

10.2.2.1

Network Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2

10.2.2.2

How to Set Up the Network Protocol on the PC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3

10.3

Message Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6

10.3.1

Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6

10.3.1.1

Command Packet (Host to IC6 Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6

10.3.1.2

Response Packet (IC6 to Host Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8

10.3.1.3

Timeouts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9

10.3.2

Data Type Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9

10.3.2.1

REAL_xXx and REAL_xFx. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10

10.3.2.2

TIME. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10

10.3.2.3

ENCODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10

10.3.2.4

INTEGER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10

10.3.2.5

LOCKCODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10

10.4

Communication Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11

10.4.1

Query and Update Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11

10.4.2

Status Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12

10.4.3

HELLO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12

10.4.4

Query Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12

10.4.5

Update Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-13

10.4.6

Query General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14

10.4.7

Update General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14

10.4.8

Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18

10.4.9

Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18