INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller User Manual
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IC6 Operating Manual
Counter / Timer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
USB Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
Process Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
Defining a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
Executing a Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
Pre-conditioning a Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
Co-deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
Multiple Layer Starts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
Automating a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
Special Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
XtalTwo (CrystalTwo) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35
XtalSix (CrystalSix). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36
Xtal12 (Crystal12). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36
Generic Sensor Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37
Source/Crucible Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37
Example: Programming Turret Source Crucible Selection. . . . . . . . . . . . . 3-38
Auto-Z. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-39
Auto Tune — Optimizing the Control Loop. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
Rate Watcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-41
Determining Soak Power with the Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . 3-41
Test Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
Standard or Time Compressed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
Advanced Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
USB Storage Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
Lock and Access Codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43
Datalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43
DAC Monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-46
Sensor & Source Setup
Sensor Setup Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Sensor Display Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Source Setup Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
Source Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
Source Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
DAC Output Selection Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8