INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 10)

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IC6 Operating Manual
1.4.11 Operating Environment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.12 Storage Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.13 Warm Up Period. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.14 Size . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.15 Installation Clearance Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.15.1 Connector Clearance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.15.2 Cooling Clearance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.16 Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.17 Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.5 Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.6 Parts and Options Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.6.1 Base Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.6.2 Pre-installed Options or Spares . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.6.3 Optional Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.6.4 Oscillator Packages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.6.5 Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.6.6 Replacement Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.7 Initial Power-On Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-20
Chapter 2
Installation and Interfaces
2.1 Location Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Sensor Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.3 IC6 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2 Avoiding Electrical Interference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.1 Verifying/Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.2 Connections to Earth Ground. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.2.3 Minimizing Noise Pickup From External Cabling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.3 Connecting the Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1 Routing XIU Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2 Interface Cable Fabrication and Pin-Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2.1 Source Control Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2.2 Crucible Indexer Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.2.3 DAC Option Kit 781-504-G1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.2.4 I/O Expansion Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.2.5 RS-232C Communications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.2.6 Isolated +24 V (dc) Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12