INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 18)

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IC6 Operating Manual
Chapter 15
Troubleshooting, Status and Error Messages
15.1 Status Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-1
15.2 User Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-5
15.3 AutoTune and Calibration Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-6
15.4 STOP messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-7
15.5 Transient Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-9
15.6 Input Error Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-14
15.7 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-16
15.7.1 Troubleshooting the IC6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-17
15.7.2 Troubleshooting Transducers/Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-19
15.7.3 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-23
15.8 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-25
15.8.1 Front Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-26
15.8.2 Cool Drawer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-27
15.8.3 Shuttered and Dual Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-28
15.8.4 Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-28
15.8.5 Sputtering Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-29
15.8.6 Crystal Snatcher. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-30
15.8.7 CrystalSix (XtalSix). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-30
15.9 Crystal Sensor Emulator
IPN 760-601-G1 or 760-601-G2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-31
15.9.1 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-32
15.9.1.1 Measurement System Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-32
15.9.1.2 Feedthrough Or In-Vacuum Cable
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-33
15.9.1.3 Sensor Head Or Monitor Crystal
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-34
15.9.1.4 System Diagnostics Pass But
Crystal Fail Message Remains. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-35
15.9.2 % XTAL Life . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-35
15.9.3 Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-36
15.9.3.1 Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-36
15.9.3.2 Incompatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-36
15.9.4 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-37