INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 15)

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IC6 Operating Manual
10.4.10 Query Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18
10.4.11 Update Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18
10.4.12 Query Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-19
10.4.13 Update Logic Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-21
10.4.14 IC6 Event List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-21
10.4.15 IC6 Action List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-24
10.4.16 Query Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-26
10.4.17 Update Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-26
10.4.18 Query Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-35
10.4.19 Update Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-35
10.4.20 Query Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-35
10.4.21 Update Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-35
10.4.22 Query Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-36
10.4.23 Update Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-36
10.4.24 Query Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-37
10.4.25 Update Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-37
10.4.26 Query Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-39
10.4.27 Update Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-39
10.4.28 Query User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-39
10.4.29 Update User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-39
10.4.30 Status General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-40
10.4.31 Status Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-43
10.4.32 Status Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-45
10.4.33 Remote General Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-47
10.4.34 Remote Layer Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-50
10.4.35 IC6 Communications Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-52
10.4.35.1 General Command Packet Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-52
10.4.35.2 General Response Packet Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-52
10.4.35.3 HELLO Command, ASCII name and version . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-52
10.4.35.4 Query General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53
10.4.35.5 Update General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53
10.4.35.6 Query Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53
10.4.35.7 Update Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53
10.4.35.8 Query Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-53
10.4.35.9 Update Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54
10.4.35.10 Query Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54
10.4.35.11 Update Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54
10.4.35.12 Query Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54
10.4.35.13 Update Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-55
10.4.35.14 Query Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56