INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 16)

TOC - 8
PN
07
4-
50
5-
P1
F
IC6 Operating Manual
10.4.35.15 Update Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.16 Query Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.17 Update Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.18 Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.19 Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57
10.4.35.20 Query Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57
10.4.35.21 Update Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57
10.4.35.22 Query Output Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57
10.4.35.23 Update Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57
10.4.35.24 Query User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.25 Update User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.26 Query Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.27 Update Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.28 Status General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.29 Status Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.30 Status Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.31 Remote General Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.32 Remote Layer Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.33 Example for Interpreting Float Responses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-61
Chapter 11
Applications
11.1 Multiple Sensor Deposition Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.1.1 IC6 Parameters and Corrections for
Multiple Sensor Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.2 Trend Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5
11.2.1 IC6 Parameters Associated with the Trend Analysis Feature . . . . . . . . . . 11-5
11.3 IC6 Cygnus Emulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6
11.4 IC6 Four & Six Layer (Cygnus Emulation) Configuration . . . . . . . . . . . . . . 11-7
11.4.1 Configure Sensors 1 to 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
11.4.2 Configure Sources 1 to 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
11.4.3 Configure six Materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
11.4.4 Configure the Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
11.4.5 General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
11.4.6 Logic Functions Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
11.4.7 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
11.4.7.1 NonDepCntl State . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
11.4.7.2 Suspend . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
11.4.7.3 Idle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10