INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 17)

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IC6 Operating Manual
Chapter 12
Maintenance and Calibration Procedures
12.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
12.4 Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3
12.5 AutoTuning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
12.5.1 AutoTune Preparation Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
12.5.2 AutoTune Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8
12.5.3 AutoTune Manual Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-9
12.5.4 AutoTune Tuning Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
12.5.5 AutoTune Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
12.6 Determining Cross Talk Calibration
For Co-Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13
12.6.1 Procedure Set-Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
12.6.1.1 Cross Talk Calibration Procedural Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
12.6.1.2 Cross Talk Calibrate Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-16
12.6.2 Cross Talk Calibration MANUAL display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
12.6.2.1 Function Key Selection Choices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
12.6.3 Cross Talk Calibration CALIBRATE display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-18
12.6.4 Cross Talk Calibration SELECT display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
12.6.4.1 Function Key Selection Choices for
Cross Talk Calibration Select . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
12.7 Source Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-20
12.7.1 Source Maintenance Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.7.1.1 Crucible Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.7.1.2 Toggle Sensor and Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.7.1.3 Start/Stop Manual Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.8 System Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-22
Chapter 13
Counters & Timers
13.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-1
Chapter 14
USB Storage
14.1 File Handling (USB) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
14.1.1 USB Storage Devices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
14.2 Directory Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
14.3 Configuration Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-2
14.4 Data Logs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-3
14.5 Screen Captures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4