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INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller User Manual

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TOC - 11

PN

07

4-

50

5-

P1

F

IC6 Operating Manual

Chapter 16

Measurement and Control Theory

16.1

Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-1

16.1.1

Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-2

16.1.2

Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-4

16.1.3

Z-match Technique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-5

16.1.4

Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-6

16.1.5

ModeLock Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-7

16.1.6

Auto-Z Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-9

16.1.7

Control Loop Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-11

Appendix A

Material Table

A.1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .A-1