INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Manual (Page 15)

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XTC/3 Operating Manual
Chapter 7
Calibration Procedures
7.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.4 Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.5 Estimating Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
Chapter 8
Measurement and Control Theory
8.1 Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.1.1 Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.1.2 Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-4
8.1.3 Z-Match Technique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-5
8.1.4 Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
8.1.5 ModeLock Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-7
8.1.6 Control Loop Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-9
Chapter A
Material Table