INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Manual (Page 11)

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XTC/3 Operating Manual
3.3.2 Operate Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.3.2.1 Crystal Life and Starting Frequency . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
3.3.2.2 Choosing The Right Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
3.3.2.3 Percent Life Auto-Zero . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
3.3.3 Film Name Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
3.3.4 Process List Display (XTC/3M only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
3.3.5 General Parameter Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.3.6 I/O Map Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
3.3.7 Diagnostics Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
3.3.8 Sensor Information Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
3.4 Executing a Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
3.5 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
3.5.1 Alarms and Stops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
3.5.1.1 Alarms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
3.5.1.2 Stops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
3.5.1.3 Recovering from STOP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.6 Special Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.6.1 Automating a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.6.2 Ion Assisted Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.6.3 Control Delay . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.6.4 Shutter Delay . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.6.5 Rate Ramp Trigger of Final Thickness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.6.6 Transfer Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.6.7 Crucible Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.6.7.1 Bin mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.6.7.2 BCD mode (XTC/3M only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.6.8 Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.6.8.1 CrystalTwo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
3.6.8.2 CrystalSix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28
3.6.8.3 Crystal12 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28
3.6.8.4 Rotary Sensor Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.6.8.5 Dual Head. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.6.8.6 XTC/3S Sensor Shutter / CrystalSwitch Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
3.6.9 Start Layer Without Backup Crystal Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
3.6.10 RateWatcher. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
3.6.11 Hand-held Controller (Option) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
3.6.12 Lock Code . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.6.13 Parameter Clear . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.6.14 Datalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.6.15 TCP/IP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-33