INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Manual (Page 13)

TOC - 5
PN
07
4-
44
6-
P1
J
XTC/3 Operating Manual
5.1.4 TCP/IP Ethernet Port . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.4.1 Network Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.4.2 How to Set Up the Network Protocol on the PC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.2 Standard Protocol Message Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.2.1 Standard Protocol. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.2.1.1 Standard Command Packet (Host to XTC/3 Message) . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.2.1.2 Standard Response Packet (XTC/3 to Host Message) . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.2.2 Standard Communication Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.2.2.1 Standard ECHO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.2.2.2 Standard HELLO Command. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.2.2.3 Standard QUERY Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
5.2.2.3.1 Query Block . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
5.2.2.3.2 Standard Query Film Name (XTC3/M only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13
5.2.2.3.3 Standard Query Film Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13
5.2.2.3.4 Standard Query General Parameter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13
5.2.2.3.5 Standard Query Input Definition (XTC/3M Only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
5.2.2.3.6 Standard Query Output Definition (XTC/3M Only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.2.2.3.7 Standard Query Output Type Definition (XTC/3M Only) . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.2.2.3.8 Standard Query Process Parameters (XTC/3M Only) . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.2.2.4 Standard UPDATE Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
5.2.2.4.1 Update Block . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
5.2.2.4.2 Standard Update Film Name (XTC/3M only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-20
5.2.2.4.3 Standard Update Film Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21
5.2.2.4.4 Standard Update General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-25
5.2.2.4.5 Standard Update Input Definition (XTC/3M only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
5.2.2.4.6 Standard Update Output Definition (XTC/3M only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
5.2.2.4.7 Standard Update Output Type Definition (XTC/3M Only). . . . . . . . . . . . . . 5-28
5.2.2.4.8 Standard Update Process Parameters (XTC/3M only). . . . . . . . . . . . . . . . 5-28
5.2.2.5 Standard STATUS Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-29
5.2.2.6 Standard REMOTE Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34
5.3 XTC/2 Protocols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-36
5.3.1 Basic Command Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-36
5.3.2 XTC/2 Serial Communication with Checksum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-37
5.3.3 XTC/2 Serial Communications - No Checksum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-37
5.3.4 XTC/2 Error Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-38
5.3.5 XTC/2 Message Strings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-39
5.3.5.1 XTC/2 ECHO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-39
5.3.5.2 XTC/2 HELLO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-39
5.3.5.3 XTC/2 QUERY Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-39