INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Manual (Page 14)

TOC - 6
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J
XTC/3 Operating Manual
5.3.5.4 XTC/2 UPDATE Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-41
5.3.5.5 XTC/2 STATUS Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-42
5.3.5.6 XTC/2 REMOTE Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-46
5.3.5.7 XTC/2 Sample Host Programs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-48
5.3.5.7.1 XTC/2 Program Without Checksum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-48
5.3.5.7.2 XTC/2 Program With Checksum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-49
Chapter 6
Troubleshooting, Status and Error Messages
6.1 Status and Error Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 XTC/3 Diagnostics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
6.3 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
6.3.1 Troubleshooting XTC/3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-9
6.3.2 Troubleshooting Transducers/Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
6.3.2.1 Verifying Crystal Switching and Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
6.3.2.2 Verifying Sensor Shutter Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
6.3.3 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
6.3.3.1 TCP/IP Module LED Diagnostics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
6.4 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-18
6.4.1 Front Load Single Sensors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-18
6.4.2 Shuttered Front Load Single and Front Load Dual Sensors . . . . . . . . . . . 6-19
6.4.3 Cool Drawer Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
6.4.4 Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-21
6.4.5 Sputtering Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22
6.4.6 Crystal Snatcher. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
6.4.7 CrystalSix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
6.4.8 Crystal12 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
6.5 Crystal Sensor Emulator PN 760-601-G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24
6.5.1 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
6.5.1.1 Measurement System Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
6.5.1.2 Feed-Through Or In-Vacuum Cable
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-26
6.5.1.3 Sensor Head Or Monitor Crystal
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-27
6.5.1.4 System Diagnostics Pass But
Crystal Fail Message Remains. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28
6.5.2 % XTAL Life . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28
6.5.3 Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-29
6.5.3.1 Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-29
6.5.3.2 Incompatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-29
6.5.4 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-30