INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Manual (Page 12)

TOC - 4
PN
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44
6-
P1
J
XTC/3 Operating Manual
Chapter 4
XTC/3 Programming
4.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 Film Set Up Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.2.1 Film Set Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.2.2 Film Definition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.3 Film Definition Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.2.3.1 Pre/Post Deposition Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.2.3.2 Deposit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.2.3.3 Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.2.3.3.1 Setting S&Q Parameters (Soft Crystal Failures) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.2.3.3.2 Stability. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.2.3.3.3 Quality . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
4.2.3.4 Source Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
4.2.3.5 Option. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
4.3 Process Set-Up Overview (XTC/3M only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
4.3.1 Process Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.3.1.1 Process Number. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.3.1.2 Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.3.1.3 Building the Layer Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.4 General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-18
4.4.1 Process Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
4.4.2 Hardware Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
4.4.2.1 XTC/3S Film Select Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-23
4.4.3 Comm Info . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
4.4.3.1 Remote Communication Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-25
4.5 I/O Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26
4.5.1 XTC/3S Inputs and Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-27
4.5.2 XTC/3M Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-28
4.5.3 XTC/3M Outputs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-29
4.5.4 Clear Input or Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-31
Chapter 5
Remote Communications
5.1 Remote Communications Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.1 Message Protocols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.2 Physical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.3 RS-232C Serial Port. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2