INFICON HAPSITE ER Chemical Identification System - Manual (Page 25)

TOC - 11
IP
N 07
4-
47
1-
P1
B
HAPSITE ER Operating Manual
14.8.3 Method Events . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-8
14.9 Background Cleanup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-9
14.9.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-9
14.9.2 Cleanup Steps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-9
14.10 Operating Tips . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11
14.10.1 Reducing Background . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11
14.10.1.1 Sampling Precautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11
14.10.1.2 Expected Concentration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11
14.10.2 Nitrogen Usage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11
14.11 Calibration Standards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-12
14.11.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-12
14.11.2 Standard Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-12
14.11.3 Calculations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-14
14.12 Calibration Curves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-14
14.13 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-15
14.13.1 Surface Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-15
Chapter 15
Service Module
15.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-1
15.2 Service Module Input Power. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-2
15.2.1 Service Module 110/220 V(ac) Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-2
15.2.2 Service Module 24 V(dc) Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-2
15.3 Components of the Service Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-3
15.3.1 Backup Batteries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-3
15.3.2 MDP/Turbo Pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-3
15.3.3 Manifold Vent Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-3
15.3.4 Foreline Vent Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-4
15.3.5 Roughing Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-4
15.3.6 Vacuum Interconnect Valve Actuator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-4
15.3.7 Battery Charger . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-4
15.3.8 Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-5
15.3.9 Communications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-5
15.4 When to Use the Service Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-6
15.5 ER IQ Software for the Service Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-7
15.5.1 The Service Module Tab in Properties Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-8
15.6 Starting Up HAPSITE on the Service Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-11
15.7 Attaching the HAPSITE to the Service Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-12
15.7.1 Attaching the HAPSITE to the Service Module using the
ER IQ Software. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-13