INFICON IC/5 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 16)

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IP
N 07
4-
23
7A
E
IC/5 Operating Manual
13.4 Crystal Sensor Emulator
IPN 760-601-G1 or 760-601-G2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-28
13.4.1 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-29
13.4.1.1 Measurement System Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-29
13.4.1.2 Feed-Through Or In-Vacuum Cable
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-30
13.4.1.3 Sensor Head Or Monitor Crystal
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-31
13.4.1.4 System Diagnostics Pass But
Crystal Fail Message Remains. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-32
13.4.2 % XTAL Life . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-32
13.4.3 Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-33
13.4.3.1 Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-33
13.4.3.2 Incompatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-33
13.4.4 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-34
Appendix A
Material Table
A.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .A-1
Index