INFICON IC/5 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 10)

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E
IC/5 Operating Manual
Chapter 2
Measurement and Control Theory
2.1 Basics. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.1.2 Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.1.3 Z-match Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.1.4 Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.1.5 ModeLock Oscillator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.1.6 Auto Z-match Theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.1.7 Control Loop Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
Chapter 3
Operation
3.1 Front Panel Controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Rear Panel Interfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.3 Displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.3.1 Display Navigation via the MENU TREE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
3.3.2 Operate Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
3.3.2.1 Crystal Life and Starting Frequency . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
3.3.3 Sensors Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
3.3.3.1 SENSORS Display Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
3.3.3.2 Function Key Selection Choices for
the Sensors Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16
3.3.4 Maintenance/Diagnostics Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
3.3.4.1 Function Key Selection Choices for the
Maintenance/Diagnostics Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
3.3.5 Source Maintenance Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18
3.3.5.1 Function Key Selection Choices for the
Source Maintenance Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18
3.3.6 Cross Talk and Calibration Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
3.3.7 Program Displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20
3.3.7.1 Function Key Selection Choices for the Program Display . . . . . . . . . . . . . 3-20
3.4 Process Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.4.1 Defining a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.4.2 Executing a Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
3.4.3 Pre-conditioning a Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.4.4 Co-deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.4.5 Automating a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
3.5 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30