INFICON IC/5 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 13)

TOC - 5
IP
N 07
4-
23
7A
E
IC/5 Operating Manual
7.7.4.4 Update Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-23
7.7.4.5 Update Source Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-23
7.7.4.6 Update Output Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-24
7.7.4.7 Update Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-24
7.7.4.8 Update Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-27
7.7.4.9 Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-27
7.7.4.10 Update User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-27
7.7.5 STATUS Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-28
7.7.6 REMOTE Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-38
7.7.7 Negative Response Error Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41
7.8 Sample INFICON Messages and
Host Programs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41
7.8.1 Sample INFICON Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41
7.8.2 Sample Host Programs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-43
7.8.2.1 Serial Communications - No Checksum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-43
7.8.2.2 Serial Communication with Checksum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-44
7.8.2.3 IEEE Sample Host Program . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-45
Chapter 8
Source/Sensor Set-Up
8.1 Source/Sensor Set-Up Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.2 Source/Sensor Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.3 Source Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
8.4 Sensor Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
8.5 DAC Output Selection Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-8
8.6 Error Messages in Source/Sensor Set-Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-9
Chapter 9
Utility Set-Up
9.1 Utility Set-Up Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.2 Utility Navigation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.3 Utility Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.4 Error Messages in Utility Set-Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-7
Chapter 10
Applications
10.1 Multiple Sensor Deposition Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.1.1 Instrument Parameters and Corrections for
Multiple Sensor Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.2 Trend Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4
10.2.1 Instrument Parameters Associated with the Trend Analysis Feature. . . . . 10-5