INFICON IC/5 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 11)

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IC/5 Operating Manual
3.6 Special Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.6.1 Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.6.1.1 CrystalSix Position Select. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-33
3.6.1.2 Rotary Sensor Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-33
3.6.2 Source/Crucible Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.6.2.1 Example: Programming Turret Source Crucible Selection . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.6.3 Auto Z . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36
3.6.4 Auto Tune - Optimizing the Control Loop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37
3.6.5 Rate Watcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37
3.6.6 Hand-Held Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38
3.6.7 Test Mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-39
3.6.8 Floppy Disk (Optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-39
3.6.9 Lock and Access Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
3.6.10 Datalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
Chapter 4
Material Set Up
4.1 Material Set Up Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 Material Definition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.3 Material Definition Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.4 Error Messages in Material Set-Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15
Chapter 5
Process Set-Up
5.1 Process Set-Up Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Process Definition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.2.1 Layer Editing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.3 Layer Definition Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.4 Error Messages in Process Set-Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.5 Special Layer Parameter Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.5.1 Skip Deposit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.5.2 Rate Ramp Trigger of Final Thickness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
Chapter 6
I/O Logic Statement Set-Up
6.1 I/O Logic Statement Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Editing the Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.2.1 Logic Statement Directory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.2.2 Logic Statement Editing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.3 ’IF’ Event Definitions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
6.4 ’THEN’ Action Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-12