INFICON IC/5 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 14)

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IC/5 Operating Manual
10.3 Use as a System Controller Example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.3.1 System Equipment List. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
10.3.1.1 Valves. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
10.3.1.2 Switches . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
10.3.1.3 Solenoid Valves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
10.3.1.4 Electron Beam Gun Power Supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
10.3.1.5 Vacuum Gauges and Controllers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
10.3.1.6 Temperature Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
10.3.1.7 Lamps. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
10.3.2 I/O Set-Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
10.3.2.1 Outputs Connected to I/O Board 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-13
10.3.2.2 Outputs Connected to I/O Board 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14
10.3.2.3 Logic Statement Directory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-15
Chapter 11
Installation and Interfaces
11.1 Location Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.1.1 Sensor Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.1.2 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.1.3 Control Unit Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5
11.2 Avoiding Electrical Interference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5
11.2.1 Verifying/Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5
11.2.2 Connections to Earth Ground. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6
11.2.3 Minimizing Noise Pickup From External Cabling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-7
11.3 Connecting the Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
11.3.1 Verifying the Correct Input Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
11.3.2 Voltage Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
11.3.3 Routing XIU Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
11.3.4 Interface Cable Fabrication and Pin-Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
11.3.4.1 Source Control Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
11.3.4.2 Input/Relay Module Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-11
11.3.4.3 RS-232C Communications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-13
11.3.4.4 Isolated +24 V(dc) Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-14
Chapter 12
Calibration Procedures
12.1 Importance of Density, Tooling and Z-ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
12.4 Laboratory Determination of Z-ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3