INFICON IC/5 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 15)

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E
IC/5 Operating Manual
12.5 Determining Cross Talk Calibration
For Co-Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-4
12.5.1 Procedure Set-Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6
12.5.1.1 Cross Talk Calibrate Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-7
12.5.1.1.1 Function Key Selection Choices for
Cross Talk Calibration Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8
12.5.2 Cross Talk Calibration MANUAL display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8
12.5.2.1 Function Key Selection Choices for
Cross Talk Calibration Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8
12.5.3 Cross Talk Calibration CALIBRATE display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-9
12.5.3.1 Function Key Selection Choices for
Cross Talk Calibration Calibrate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-9
12.5.4 Cross Talk Calibration SELECT display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-9
12.5.4.1 Function Key Selection Choices for
Cross Talk Calibration Select . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
12.5.5 Cross Talk Calibration Procedural Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
12.6 AutoTuning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-11
12.6.1 AutoTune Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-12
12.6.2 AutoTune Manual Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13
12.6.3 AutoTune Tuning Display and
AutoTune Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
12.6.4 Definition of AutoTune Messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-15
12.6.5 AutoTune Preparation Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
Chapter 13
Troubleshooting, Status and Error Messages
13.1 Status and Error Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-1
13.2 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-11
13.2.1 Major Instrument Components and Assemblies. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-12
13.2.2 Troubleshooting the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-13
13.2.3 Troubleshooting Transducers/Sensors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-15
13.2.4 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-20
13.3 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23
13.3.1 Standard and Compact. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23
13.3.2 Shuttered and Dual Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-24
13.3.3 Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-25
13.3.4 Sputtering Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-26
13.3.5 Crystal Snatcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-27
13.3.6 CrystalSix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-27