INFICON Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 72)

3 - 22
IP
N 07
4-
54
5-
P1
E
Cygnus 2 Operating Manual
Figu
re
3
-1
6
Si
mp
lified
Cy
g
nus 2 st
ate sequ
ence di
agram
ST
OP
ST
OP
NO
NO
NO
ON
YES
YES
YES
O
N
/ S
TB
Y
STB
Y P
O
WE
R
FA
IL
ST
AN
DB
Y
RES
ET
YES YES
NO NO
NO
SA
VE
CU
RR
EN
T
PR
O
CE
SS
DA
TA
TURRE
T DE
LA
Y TIME
OUT
CR
U
CI
BL
E
IN
PO
SITION
?
tM
EM
O
RY
CH
ECK
S
tRE
AD
CO
N
FI
G
U
RA
TI
O
N
SWI
TC
H
ES
tREST
ORE
C
U
RRE
NT
PR
O
CE
SS V
AL
U
ES
PR
EC
ONDITION
RI
SE
PR
EC
ONDITION
S
O
AK
RI
SE
TI
ME
1
SOURC
E
SWI
TC
H
SA
M
E
SOURC
E
AN
D
CR
UC
IBLE ?
IDLE PO
WE
R
ZER
O
?
t LOA
D
F
IL
M
PA
RAME
TE
RS
SO
AK
TI
ME 1
SO
AK
HOL
D
INP
U
T
?
RI
SE
TI
ME 2
SO
AK
TI
ME 2
SO
AK
HOL
D
2
INP
U
T
?
SH
U
TT
ER
DE
LA
Y
?
SH
U
TT
ER
DE
LA
Y
SH
U
TT
ER
DE
LA
Y
?
CO
N
TR
O
L
DE
LA
Y
YES
YES
NO
MP
WR
ST
AR
T )
)
)
)
YES
YES
A
A
NO
NO NO
NO
NO
YES
YES
YES
NO
REA
D
Y
IDLE
WA
S
TI
ME
PO
WE
R
USED
?
IDLE RAMP TIME FE
ED
TI
ME
FE
ED
RAMP
O
N
F
INAL T
H
K
D
ECISI
O
N
DA
TA
LO
G
UP
D
AT
E THIC
KNES
S
FI
NAL
TI
ME
E
LA
PS
ED
XT
AL
F
AI
L
TI
ME
EL
APSED
FI
N
AL
T
H
K
XT
AL
F
AI
L
?
RA
TE
RA
M
P
FI
N
AL
T
H
IC
KN
ES
S
RA
TE
R
AMP
THIC
KN
ES
S
XT
AL
F
AI
L
FI
N
AL
T
H
K
THK
L
IMIT
XT
AL
F
AI
L
?
XT
AL
SWI
TC
H
SELEC
TED
?
D
EP
OSI
T
RA
TE
W
AT
CH
ER
D
EP
OSI
T
RE
TA
IN
THIC
KNES
S
AT
“ST
O
P”
V
AL
U
E
ZER
O
THIC
KN
ES
S
PR
O
CE
SS
CO
NTI
N
U
E
?
GO
OD
XT
AL ?
SWI
TC
H
XT
AL
DES
IRE
D
RA
TE = 0.0
YES NO
XT
SW
TI
ME
PO
WE
R
SELEC
TED
?
“T
O
FA
IL
U
RE
AC
TI
O
N
ST
AT
E”
TI
ME
PO
WE
R
FI
NAL
THIC
K
?
ST
AR
T
YES
)
)