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INFICON Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller User Manual

Page 17

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TOC - 9

IP

N 07

4-

54

5-

P1

E

Cygnus 2 Operating Manual

13.7.4

Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23

13.7.5

Sputtering Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-24

13.7.6

Crystal Snatcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-25

13.7.7

CrystalSix (XtalSix). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-25

13.8

Crystal Sensor Emulator
IPN 760-601-G1 or 760-601-G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-26

13.8.1

Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-27

13.8.1.1

Measurement System Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-27

13.8.1.2

Feedthrough Or In-Vacuum Cable
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-28

13.8.1.3

Sensor Head Or Monitor Crystal
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-29

13.8.1.4

System Diagnostics Pass But
Crystal Fail Message Remains. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-30

13.8.2

% XTAL Life . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-30

13.8.3

Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-31

13.8.3.1

Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-31

13.8.3.2

Incompatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-31

13.8.4

Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-32

Chapter 14

Measurement and Control Theory

14.1

Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1

14.1.1

Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-2

14.1.2

Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4

14.1.3

Z-match Technique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-5

14.1.4

Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-6

14.1.5

ModeLock Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-7

14.1.6

Auto-Z Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-9

14.1.7

Control Loop Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11

Appendix A

Material Table

A.1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .A-1

Index