INFICON Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 14)

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Cygnus 2 Operating Manual
Chapter 9
Remote Communications
9.1 Remote Communication Configuration Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.2 Physical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.2.1 RS-232C Serial Port. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.2.2 TCP/IP Ethernet Port . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.2.2.1 Network Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.2.2.2 How to Set Up the Network Protocol on the PC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.3 Message Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-5
9.3.1 Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-5
9.3.1.1 Command Packet (Host to Cygnus 2 Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-5
9.3.1.2 Data Type Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-7
9.3.1.3 Response Packet (Cygnus 2 to Host Message). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-8
9.3.1.4 Timeouts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-10
9.4 Communication Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-10
9.4.1 Query and Update Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-10
9.4.2 Status Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-11
9.4.3 HELLO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-11
9.4.4 Query General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-11
9.4.5 Update General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-12
9.4.6 Query Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-16
9.4.7 Update Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-16
9.4.8 Query Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-21
9.4.9 Update Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-21
9.4.10 Query Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-22
9.4.11 Update Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-22
9.4.12 Query Process Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-24
9.4.13 Update Process Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-24
9.4.14 Query Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-25
9.4.15 Update Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-25
9.4.16 Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-25
9.4.17 Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-25
9.4.18 Query Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-25
9.4.19 Update Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-26
9.4.20 Query Output Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-26
9.4.21 Update Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-26
9.4.22 Query User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-26
9.4.23 Update User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-27
9.4.24 Query Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-27
9.4.25 Update Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-29