INFICON Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 13)

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Cygnus 2 Operating Manual
5.1.3 Material Source Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.1.4 Material Sensor Parameters Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.1.5 Pre/Post Screen Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.1.6 Post Deposit Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13
5.1.7 Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
5.2 Special Material Parameter Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17
5.2.1 Skip Deposit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17
5.2.2 RateWatcher™ Sample and Hold Feature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17
Chapter 6
General Parameters
6.1 General Set-Up Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 General Process Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.3 DACs Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.4 COMM Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.5 MESSAGE Page Set-up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.6 DATE / TIME Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
6.7 TEST Page Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
6.8 LOCK Page Code Set-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
6.9 AUDIO / VISUAL Page Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-9
Chapter 7
Digital I/O
7.1 Digital I/O Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 All Input Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.3 All Output Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.4 I/O Board Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.4.1 Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
Chapter 8
Logic Statement Set-Up
8.1 Logic Statement Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.2 Editing the Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.2.1 Logic Statement Groups. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
8.2.2 Logic Statement Editing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-4
8.2.3 AND/OR and ON Logic Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
8.2.3.1 ON Operator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
8.3 IF Event Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-7
8.4 THEN Action Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-14
8.5 Logic Statement Example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-17