INFICON Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 16)

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Cygnus 2 Operating Manual
Chapter 10
Maintenance and Calibration Procedures
10.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.4 Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
10.5 Source Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.5.1 Source Maintenance Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
10.5.1.1 Crucible Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
10.5.1.2 Toggle Sensor and Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
10.5.1.3 Start/Stop Manual Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
10.6 System Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7
Chapter 11
Counters & Timers
11.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
Chapter 12
USB Storage
12.1 File Handling (USB) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.1.1 USB Storage Devices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.2 Directory Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.3 Configuration Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
12.4 Data Logs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3
12.5 Screen Captures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-4
Chapter 13
Troubleshooting, Status and Error Messages
13.1 Status Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-1
13.2 User Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-4
13.3 STOP messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-5
13.4 Transient Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-6
13.5 Input Error Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-10
13.6 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-11
13.6.1 Troubleshooting the Cygnus 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-12
13.6.2 Troubleshooting Transducers/Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-15
13.6.3 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-19
13.7 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-20
13.7.1 Front Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-20
13.7.2 Cool Drawer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-21
13.7.3 Shuttered and Dual Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23