INFICON Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller User Manual
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Cygnus 2 Operating Manual
Cygnus 2 Event List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-29
Cygnus 2 Action List. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-33
Status General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-35
Status Material . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-38
Status Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-40
Remote General Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-42
Remote Material Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-45
Cygnus 2 Communications Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-47
General Command Packet Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-47
General Response Packet Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-47
HELLO Command, ASCII name and version . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-47
Query Material Parameter, Z-Ratio (2), Material 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-48
Update Material Parameter, Control Loop (4), Material 1, PID (2) . . . . . . . 9-48
Query Sensor Parameter, Shutter Output (1), Sensor 1 . . . . . . . . . . . . . . 9-48
Update Sensor Parameter, Sensor Type (2), Sensor 1,
CrystalTwo (1) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-48
Query Source Parameter, Shutter Output (2), Source 1 . . . . . . . . . . . . . . 9-48
Update Source Parameter, Number of crucibles (3),
Source 1, 4 crucibles (1). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-48
Query Material Name, Material 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-49
Update Material Name, Material 1, “SILVER”. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-49
Query Input Name, Input 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-49
Update Input Name, Input 1, “P1”. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-49
Query Output Name, Output 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-49
Update Output Name, Output 1, “SHUTTER” . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-49
Query Output Type, Output 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-50
Update Output Type, Output 1, Normally Closed (1) . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-50
Query User Message, Message 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-50
Update User Message, Message 1, “HELLO!” . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-50
Query Logic Statement, Statement 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-50
Update Logic statement, Statement 1,
“IF External Input 1 THEN Start 1” . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-51
Status Material, Thickness (4), Material 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-52
Status Sensor, Crystal Life (0), Sensor 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-52
Remote General Action, Stop All . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-52
Remote Material Action, Open Source Shutter (8) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-52
Example for Interpreting Float Responses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-53