INFICON XTC/C Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 16)

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XTC/C - XTC/2 Operating Manual
6.5.1.3 Sensor Head Or Monitor Crystal Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . 6-21
6.5.1.4 System Diagnostics Pass But
Crystal Fail Message Remains . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22
6.5.2 % XTAL Life . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22
6.5.3 Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
6.5.3.1 Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
6.5.3.2 Incompatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
6.5.4 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24
Appendix A
Table of Densities and Z-ratios
Index