INFICON XTC/C Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 15)

TOC - 5
IP
N 07
4-
18
3X
XTC/C - XTC/2 Operating Manual
Chapter 5
Calibration and Measurement
5.1 Importance of Density, Tooling and Z-ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.4 Laboratory Determination of Z-ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.5 Measurement Theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.5.1 Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.5.2 Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.5.3 Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.5.4 Z-Match Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.5.5 Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.5.6 ModeLock Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
5.6 Control Loop Theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
Chapter 6
Adjustments and Problems
6.1 LCD Contrast Adjustment (XTC/2 only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Error Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2.1 Powerup Errors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2.2 Parameter Update Errors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.2.3 Other Errors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.3 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.3.1 Major Instrument Components, Assemblies
and Mating Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.3.2 Troubleshooting the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.3.3 Troubleshooting Transducers/Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
6.3.4 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-10
6.3.5 Leaf Spring Concerns . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-12
6.4 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-13
6.4.1 Standard and Compact . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-13
6.4.2 Shuttered and Dual Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-14
6.4.3 Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-15
6.4.4 Sputtering Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-16
6.4.5 Crystal Snatcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
6.4.6 CrystalSix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
6.5 Crystal Sensor Emulator IPN 760-601-G1 or 760-601-G2 . . . . . . . . . . 6-18
6.5.1 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
6.5.1.1 Measurement System Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
6.5.1.2 Feed-Through Or In-Vacuum Cable Diagnostic Procedure . . . . . . . . . 6-20