INFICON XTC/C Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 13)

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XTC/C - XTC/2 Operating Manual
Chapter 3
Installation
3.1 Installing the Instrument - Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.1.1 Control Unit Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Electrical Grounding and Shielding Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2.1 Verifying / Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.2.2 Connections to Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.2.3 Minimizing Noise Pickup from External Cabling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.3 Connection to Rear Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.3.1 The BNC Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.3.2 The "D" Shell Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.4 Sensor Selection Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
3.5 Guidelines for Transducer Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
3.5.1 Sensor Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
3.5.2 CrystalSix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
3.5.3 Check List for Transducer Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.6 Use of the Test Mode (XTC/2 Only). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.6.1 Operational Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
3.7 Input and Output Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
3.7.1 Relays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
3.7.2 Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18
3.7.3 Chart Recorder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
3.7.4 Source Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20
3.8 Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20
3.8.1 Communications Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20
3.8.1.1 IEEE Settings for a National Instruments IEEE-GPIB Board . . . . . . . . 3-21
3.8.2 Basic Command Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.8.3 Service Requests and Message Available . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.8.4 Datalogging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.8.5 Computer Command Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.8.5.1 Echo Command. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.8.5.2 Hello Command. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.8.5.3 Query Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.8.5.4 Update Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28
3.8.5.5 Status Command. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28
3.8.5.6 Remote Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.8.6 Examples of RS232 Programs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.8.6.1 Program Without Checksum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.8.6.2 Program With Checksum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35