INFICON XTC/C Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 14)

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XTC/C - XTC/2 Operating Manual
3.8.6.3 Example of SEMI II Program . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36
3.8.7 Example of IEEE488 Program . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38
3.9 Co-Deposition (Two Unit Interconnection) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-39
Chapter 4
Programming System Operation Details
4.1 State and Measurement System Sequencing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 State Descriptions and Parameter Limits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.3 Alarms and Stops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.3.1 Alarms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.3.2 Stops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.4 Recovering From "STOPS" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
4.5 Tuning the Control Loop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
4.5.1 Tuning a Fast Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
4.5.2 Tuning a Slow Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
4.5.3 Setting Maximum Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
4.6 Setting S&Q Parameters
(Soft Crystal Failures) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
4.6.1 Q-Factor (Quality) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15
4.6.2 S-Factor (Stability) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
4.6.3 Determining Q and S Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.7 Rate Ramps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
4.7.1 Rate Ramp to Zero Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
4.8 Use of the Hand Controller (Option) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
4.9 Setting the Soak and Idle Power Levels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
4.9.1 Setting Soak Power 1 Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
4.9.2 Setting Soak Power 2 Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
4.9.3 Setting Idle Power Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
4.10 Implementing RateWatcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
4.11 Crystal Fail . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-22
4.12 Completing on TIME-POWER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-22
4.13 Crystal Fail Inhibit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-23
4.14 Shutter Delay . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-23
4.15 Crystal Switch Details. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
4.15.1 Sensor Shutter / CrystalSwitch Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-25
4.16 Start Layer Without
Backup Crystal Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26
4.17 Crystal Life and Starting Frequency . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-27