INFICON XTC/C Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 12)

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XTC/C - XTC/2 Operating Manual
2.1.2.3 Ship Kit - XTC/2 XTC/C . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.2 Voltage Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.3 Installation Guide and Schematic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.4 XTC/2 Front Panel Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.4.1 XTC/2 Front Control Panel Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.4.2 XTC/2 Display Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.5 XTC/C Front Panel Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16
2.6 Rear Panel Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-18
2.6.1 Power Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-18
2.6.2 Configuration Switches 1 & 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-19
2.6.3 Grounding Stud . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-22
2.6.4 System I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-23
2.6.5 AUX I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24
2.6.6 Sensor 1, Sensor 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-25
2.6.7 RS232 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-26
2.6.8 Communication Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-27
2.6.9 Source 1,2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-27
2.6.10 Manufacturer’s Identification and
Serial Number Plate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-28
2.6.11 Recorder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-28
2.7 Operation as a Deposition Monitor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-29
2.7.1 Monitoring - Systems Without a Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-29
2.7.2 Monitoring - Systems with a Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-30
2.7.3 Rate Sampling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-31
2.7.4 Nontraditional Applications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-32
2.7.4.1 Etching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-32
2.7.4.2 Immersion in Liquids . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-32
2.7.4.3 Biological . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-32
2.7.4.4 Measurement of Liquids . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-33
2.8 Operation as a One Layer Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-33
2.8.1 Skipping a State Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-34
2.8.2 Idle State Processing Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-34
2.8.3 Manual Power Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-34
2.8.4 Time Power State Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-35
2.8.5 Controlling the Source Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-35
2.9 Operation as a Multi-Layer Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-36
2.9.1 Defining a Process Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-36