INFICON XTC/C Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 11)

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XTC/C - XTC/2 Operating Manual
Table Of Contents
Chapter 1
Introduction and Specifications
1.1 Instrument Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.1 Notes, Cautions, Warnings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.2 General Safety Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.3 Earth Ground. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.1.4 Main Power Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
1.2 Introduction to the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.3 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.3.1 Specifications XTC/2 and XTC/C . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.3.1.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.3.1.2 Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.3.1.3 Source Controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.3.1.4 Input/Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.3.1.5 Recorder Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.3.1.6 Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.3.1.7 Process Recipe Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.3.1.8 Hardware interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.3.1.9 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.3.2 Transducer Specifications (optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.3.3 XIU (Crystal Interface Unit) Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.4 Guide to the Use of the Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
1.5 XTC/C Users and Installers Note . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
1.6 Related Manuals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.7 How To Contact Customer Support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.7.1 Application Support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.7.2 Field Service and Repair Support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.7.3 Returning Your Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
Chapter 2
Quick Use Guide
2.1 Unpacking, Initial Inspection and Inventory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Unpacking and Inspection Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Inventory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2.1 XTC/2 System Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.1.2.2 XTC/C System Configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2