INFICON Cygnus Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 12)

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Cygnus Operating Manual
5.4.3.3 General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
5.4.3.3.1 Query General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
5.4.3.3.2 Update General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
5.4.3.4 Input Name Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.4.3.4.1 Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.4.3.4.2 Update Input Names . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.4.3.5 Logic Statements Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
5.4.3.5.1 Query Logic Statements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
5.4.3.5.2 Update Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
5.4.3.6 Output Name Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23
5.4.3.6.1 Query Output Names . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23
5.4.3.6.2 Update Output Names . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23
5.4.3.7 Type of Output Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24
5.4.3.7.1 Query Output Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24
5.4.3.7.2 Update Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24
5.4.4 STATUS Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24
5.4.4.1 Status Channel Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-25
5.4.4.2 Status General Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-30
5.4.5 REMOTE Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-32
5.4.5.1 Remote Channel Action Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-33
5.4.5.2 Remote General Action Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-35
5.4.6 Negative Response Error Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-37
5.5 Sample Cygnus Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-37
5.5.1 Remote Communications Example — Updating a
Channel’s Rate Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-37
Chapter 6
Installation and Interfaces
6.1 Location Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.1.1 Sensor Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.1.2 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.1.3 Control Unit Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.2 Avoiding Electrical Interference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.2.1 Verifying/Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.2.2 Connections to Earth Ground. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
6.2.3 Minimizing Noise Pickup From External Cabling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
6.3 Connecting the Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
6.3.1 Verifying the Correct Input Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
6.3.2 Voltage Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-9