INFICON Cygnus Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 11)

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Cygnus Operating Manual
Chapter 4
General Parameters
4.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 General Parameter Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.3 General Parameters Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.4 Logic Directory Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.4.1 Logic Statement Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.4.2 Editing Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.4.2.1 Logic Statement Directory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.4.2.2 Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.4.2.3 Logic Statement Event Editing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.4.2.3.1 Event Definitions (IF) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
4.4.2.4 Logic Statement Action Editing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
4.4.2.4.1 Action Definitions (THEN). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
4.5 Counters Timers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
4.6 I/O Map. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.7 Floppy Disk. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
Chapter 5
Remote Communications
5.1 Remote Communications Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Physical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2.1 RS232C Serial Port . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2.2 IEEE488 Port . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.3 Message Protocols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.3.1 INFICON Cygnus Message Formats . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.3.2 Basic Protocol. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.3.2.1 Command Packet (Host to Instrument Message). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.3.2.2 Response Packet (Instrument to Host Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.4 Cygnus Communication Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.4.1 ECHO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.4.2 HELLO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.4.3 Parameter Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.4.3.1 All Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.4.3.1.1 Query All Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.4.3.1.2 Update All Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.4.3.2 Channel Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.4.3.2.1 Query Channel Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.4.3.2.2 Update Channel Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11