INFICON Cygnus Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 10)

TOC - 2
IP
N 07
4-
37
9-
P1
K
Cygnus Operating Manual
Chapter 2
Operation
2.1 Front Panel Controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2 Rear Panel Interfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3 Displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.3.1 ALL CHANNELS Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.3.1.1 GENERAL PARAMETERS Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.1.2 General MAINTENANCE Display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.1.2.1 All Channels Sensor MAINTENANCE Display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.1.3 CHANNEL Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.3.1.3.1 Channel Parameters Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16
2.3.1.3.1.1 HARDWARE PROCESS Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17
2.3.1.3.2 Channel SENSOR MAINTENANCE Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17
2.3.1.3.2.1 Channel SOURCE MAINTENANCE Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-20
2.4 Crystal Life, Starting Frequency and Activity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-21
2.5 Defining a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-22
2.5.1 Executing a Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-22
2.6 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-23
2.7 Special Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24
2.7.1 Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24
2.7.2 Rotary Sensor Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-25
2.7.3 Source/Crucible Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-26
2.7.3.1 Example: Programming Turret Source Crucible Selection. . . . . . . . . . . . . 2-26
2.7.4 Hand-Held Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-28
2.7.5 Test Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-29
2.7.6 Floppy Disk (Optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-29
2.7.7 Lock Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-30
2.7.8 Datalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-30
2.7.9 Auto Soak 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-32
Chapter 3
Channel Parameters
3.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Channel Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.2.1 Channel Parameter Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.3 Channel Hardware Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
3.3.1 Channel Hardware Parameters Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12