INFICON SQC-310 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 12)

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SQC-310 Operating Manual
Appendix C
I/O Connections
C.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .C-1
C.2 Interfacing to a INFICON CI-100 Indexer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .C-2
C.2.1 BCD I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .C-2
C.2.2 Binary I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .C-3
C.3 Interfacing to a MDC E-Beam Sweep Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .C-4
C.3.1 BCD I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .C-4