INFICON SQC-310 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 10)

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SQC-310 Operating Manual
3.7 Layer Edit Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
3.8 Layer Copy, Insert and Delete Menus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
3.9 Film Menus. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
3.10 Film Edit Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
3.10.1 Film Conditioning Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16
3.10.2 Film Deposit Controls Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
3.10.3 Film Configure Sensor Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18
3.11 System Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
3.11.1 Input and Relay Menus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.11.2 Logic Menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.11.2.1 Entering a Logic Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.11.2.2 Logic Statement Conditions ("IF") . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.11.2.3 Logic Statement Actions ("THEN"). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.11.3 Sensors and Sources Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
3.11.3.1 Sensor Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
3.11.3.2 Source Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
Chapter 4
Maintenance & Accessories
4.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.3 Software Upgrades. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.4 Clearing the Memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.5 Half Rack Adapter Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.6 Full Rack Extender Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.7 Handheld Remote Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
Chapter 5
Communications
5.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 SQC-310 Comm.exe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2.1 Communications Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.3 SQC-310 Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.3.1 Get Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.3.2 Get/Set Film Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.3.3 Get/Set System Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.3.4 Get/Set Process Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.3.5 Get/Set Layer Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.3.6 Delete All Layers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.3.7 Get/Set Material Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9