INFICON SQC-310 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 11)

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SQC-310 Operating Manual
5.3.8 Get/Set Input & Relay Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.3.9 Get/Set Sensor, Source, Relay Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
5.3.10 Get/Set Logic Statement Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13
5.3.11 Get Num Channels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
5.3.12 Get Readings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
5.3.13 Get Sensor Rate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
5.3.14 Get Output Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.3.15 Get Sensor Thickness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.3.16 Get Output Thickness. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.3.17 Get Sensor Frequency/Crystal Life . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.3.18 Get Output Deviation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
5.3.19 Get/Set Output Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
5.3.20 Set Active Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
5.3.21 Set Run State . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17
5.3.22 Get Run State. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17
5.3.23 Start Download/Upload Session. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.3.24 Stop Download/Upload Session . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.4 CRC Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.4.1 Visual Basic ® 5/6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
5.4.2 Java ®. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-21
5.4.3 C++. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21
Appendix A
Material Table
A.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .A-1
Appendix B
Specifications
B.1 Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .B-1
B.2 Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .B-1
B.3 Digital I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .B-1
B.4 General Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .B-2
B.5 Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .B-2
B.6 Process Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .B-2
B.7 Layer Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .B-3
B.8 Film Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .B-3