INFICON IQM-233 Thin Film Deposition Controller PCI-Express Card Codeposition Software Operating Manual User Manual

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TOC - 1

N 07

IQS-233 Operating Manual

Table Of Contents

Warranty

Introduction

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1

1.1.1

IQS-233 Codeposition Software Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

1.1.2

Hardware Supported by IQS-233 Codeposition Software . . . . . . . . . . . . . . 1-2

1.1.2.1

Digital I/O Capability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4

1.1.3

Computer Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4

1.1.4

Related Operating Manuals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4

1.2

How To Contact INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.3

Software Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.3.1

Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.3.2

Process Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.3.3

Film Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.3.4

Material Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7

1.3.5

System Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.3.6

Security. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9

Chapter 2

IQS-233 Codeposition Software

2.1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1

2.2

Installing IQS-233 Codeposition Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1

2.2.1

Installing the DLL, Device Driver, and WinDriver . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2

2.2.1.1

Troubleshooting the DLL Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3

2.2.2

Installing IQS-233 Codeposition Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6

2.2.3

Updating IQS-233 Codeposition Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6