INFICON IQM-233 Thin Film Deposition Controller PCI-Express Card Operating Manual User Manual

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TOC - 1

IQM-233 Operating Manual

Table Of Contents

Declaration Of Conformity

Warranty

Chapter 1

Introduction and Specifications

1.1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1

1.1.1

IQM-233 Card Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1

1.1.2

IQM-233 Standard Software Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

1.1.3

IQS-233 Codeposition Software Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

1.1.4

Related Operating Manuals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

1.2

Instrument Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

1.2.1

Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

1.2.2

General Safety Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4

1.3

How To Contact INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.3.1

Returning Your IQM-233 Card to INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.4

IQM-233 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.4.1

Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.4.2

Source Outputs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.4.3

Computer Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7

1.4.4

General Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7

1.4.5

Operating Environment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.6

Storage Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.7

Warm Up Period . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.8

Size. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.8.1

IQM-233 Card (without bracket) H x L . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.8.2

IQM-233 Card (standard) H x L x W. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.8.3

IQM-233 Card (Small Form Factor) H x L x W . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.9

Connector Clearances . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.10

Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.5

Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9

1.6

Configurations and Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9