INFICON IQM-233 Thin Film Deposition Controller PCI-Express Card Operating Manual - Manual (Page 11)

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IQM-233 Operating Manual
3.3.3 Software Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
3.3.3.1 Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
3.3.3.1.1 Log . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
3.3.3.1.2 General. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
3.3.3.1.3 Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
3.3.3.1.4 Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
3.3.3.2 Map Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
3.3.3.3 Source Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16
3.3.3.4 File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
3.3.4 IQM-233 Standard Window Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18
3.3.4.1 Sensor Information Pane Readouts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
3.3.4.2 Source Information Pane Readouts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-21
3.3.4.3 Global Operating Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.3.4.4 Source Control Operating Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
3.3.4.5 Simulate Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.3.4.6 About IQM-233 Standard Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.3.4.7 Current Configuration File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.3.4.8 Exit Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
Chapter 4
Remote Communications
4.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 DLL Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.3 LabVIEW VI Sample. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.3.1 Getting Started With The LabVIEW VI Sample . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
Chapter 5
Troubleshooting and Maintenance
5.1 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
5.3 Spare Parts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
Chapter 6
Calibration Procedures
6.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.4 Determining Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3