INFICON SQM-242 Thin Film Deposition Controller Card Software Operating Manual - Manual (Page 9)

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A
SQS-242 Operating Manual
Chapter 5
Communications
5.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Serial Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.3 Ethernet Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.4 ActiveX (COM) Interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.5 SQS-242 Comm Program . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.5.1 Setup for RS-232 or Ethernet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.5.2 Setup for Active X Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.5.3 Communicating with the SQS-242 Program. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.6 Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.6.1 Query Command Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.6.1.1 Example: Software Version Query . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.6.1.2 Example: Response to Software Version Query . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.6.2 Update Command Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.6.2.1 Example: Set Process Update . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.6.2.2 Example Response: Set Process Update Succeeded . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.6.2.3 Example Response: Set Process Update Failed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.7 Checksum Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.8 Command Summary. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.8.1 Query Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.8.2 Update Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.8.3 Query/Update Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.8.4 Query/Update Film . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.8.5 Query Utility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.8.6 Update Utility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.8.7 Query Measurement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.8.8 Query Register . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.8.9 Update Register . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
Chapter 6
Loop Tuning