INFICON Guardian EIES Controller - Manual (Page 13)

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Guardian Co-Deposition Controller Operating Manual
Chapter 5
Maintenance & Troubleshooting
5.1 How To Contact Customer Support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Returning Your Instrument to INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.3 Sensor Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.3.1 Sensor Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.3.2 EIES Filament or Emitter Assembly Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.4 Chassis Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.5 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
Chapter 6
Theory & Calibration
6.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Theory of EIES Measurements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2.1 Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2.2 Optical Discrimination. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.2.3 Detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.3 Theory of QCM Measurements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.3.1 Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.3.2 Z-Ratio or Z-Factor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.3.3 Tooling Factor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
6.4 EIES Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
6.4.1 Detector Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
6.4.2 PMT Voltage Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
6.4.3 Zero Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-9
6.4.4 Gain Calibration - Test Run . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-9
6.4.5 Gain Calibration - QCM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-10
6.4.6 Cross Channel Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
6.5 Loop Tuning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
Chapter 7
Communications
7.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 ActiveX (COM) Interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2.1 Setup for ActiveX Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2.2 EIES ActiveX Comm Program . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2.3 EIES ActiveX Comm Program Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.2.3.1 Query Command Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.2.3.2 Update Command Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.2.3.3 EIES ActiveX Program Command Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3