INFICON Guardian EIES Controller - Manual (Page 12)

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Guardian Co-Deposition Controller Operating Manual
Chapter 4
Installation
4.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 Sensor / Feedthrough Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.2.1 Sensor Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.2.2 Sensor Covers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.3 Rigid Sensor Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.2.4 Sensor Filament Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.2.4.1 016-600-Gxx Standard Single Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.2.4.2 016-601-Gxx Gas Compensating Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.3 Detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.3.1 Detector Cable(s) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.3.2 Single-Detector Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.3.3 Multiple-Detector Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.3.3.1 Fiber Optic Beam Splitting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.3.3.2 Fiber Optic Beam Splitter Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.3.3.3 Optical Beam Splitter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
4.4 Optical Filters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
4.5 Computer Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
4.5.1 RS232 Serial Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
4.5.2 TCP/IP Ethernet Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
4.5.2.1 Network Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
4.5.2.2 How to Set Up the Network Protocol on the PC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
4.6 Controller Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.6.1 Digital I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
4.6.2 Relay Connector Pinout . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-18
4.6.3 Input Connector Pinout. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
4.6.3.1 Emission Interlock Connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
4.6.4 Sensor(s) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
4.6.5 Control Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
4.6.6 Computer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
4.6.7 Mains Power. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-22
4.7 Quartz Crystal Monitor Option (QCM) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-23
4.8 Monochromator Option. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
4.8.1 Monochromator Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
4.8.2 Monochromator Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26