INFICON XTM/2 Thin Film Deposition Monitor - Manual (Page 14)

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N 07
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6S
XTM/2 Operating Manual
5.4 Laboratory Determination of Z-ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.5 Measurement Theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.5.1 Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.5.2 Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.5.3 Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.5.4 Z-Match Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.5.5 Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.5.6 ModeLock Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
Chapter 6
Adjustments and Problems
6.1 LCD Contrast Adjustment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Error Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2.1 Powerup Errors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2.2 Parameter Update Errors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.2.3 Other Errors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.3 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.3.1 Major Instrument Components, Assemblies and Mating Connectors. . . 6-3
6.3.2 Troubleshooting the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.3.3 Troubleshooting Transducers/Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
6.3.4 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
6.3.5 Leaf Spring Concerns. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-14
6.4 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-15
6.4.1 Standard and Compact. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-16
6.4.2 Shuttered and Dual Sensors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
6.4.3 Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
6.4.4 Sputtering Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-18
6.4.5 Crystal Snatcher. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
6.5 Crystal Sensor Emulator
IPN 760-601-G1 or 760-601-G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-20
6.5.1 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-21
6.5.1.1 Measurement System Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-21
6.5.1.2 Feed-Through Or In-Vacuum Cable
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22
6.5.1.3 Sensor Head Or Monitor Crystal
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
6.5.1.4 System Diagnostics Pass But
Crystal Fail Message Remains . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24
6.5.2 % XTAL Life . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24
6.5.3 Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
6.5.3.1 Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25