INFICON XTM/2 Thin Film Deposition Monitor - Manual (Page 13)

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XTM/2 Operating Manual
3.5.1 Sensor Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
3.5.2 CrystalSix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
3.5.3 Check List for Transducer Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.6 Use of the Test Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.6.1 Operational Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
3.7 Input and Output Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
3.7.1 Relays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
3.7.2 Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
3.7.3 Chart Recorder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
3.8 Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16
3.8.1 Communications Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16
3.8.1.1 IEEE Settings for a National Instruments IEEE-GPIB Board . . . . . . . . 3-17
3.8.2 Basic Command Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18
3.8.3 Service Requests and Message Available . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20
3.8.4 Datalogging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-21
3.8.5 Computer Command Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.8.5.1 Echo Command. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.8.5.2 Hello Command. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.8.5.3 Query Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.8.5.4 Update Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
3.8.5.5 Status Command. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
3.8.5.6 Remote Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
3.8.6 Examples of RS232 Programs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
3.8.6.1 Example of SEMI II Program . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.8.7 Example of IEEE488 Program . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
Chapter 4
Programming System Operation Details
4.1 State and Measurement System Sequencing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.3 Parameter Limits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.4 Crystal Fail . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.5 Crystal Fail Inhibit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.6 Crystal Life and Starting Frequency. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Chapter 5
Calibration and Measurement
5.1 Importance of Density, Tooling and Z-ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2