INFICON XTM/2 Thin Film Deposition Monitor - Manual (Page 12)

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6S
XTM/2 Operating Manual
2.4 XTM/2 Front Panel Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.4.1 XTM/2 Front Control Panel Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.4.2 XTM/2 Display Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.5 XTM/2 Rear Panel Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
2.5.1 Power Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14
2.5.2 Configuration Switches 1 & 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15
2.5.3 Grounding Stud . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17
2.5.4 System I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-18
2.5.5 RS232 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-19
2.5.6 Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-20
2.5.7 International Warning Symbol for
Users and Technicians . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-20
2.5.8 Recorder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-20
2.5.9 Comm. Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-21
2.5.10 Manufacturer’s Identification and
Serial Number Plate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-21
2.6 Operation as a Deposition Monitor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-22
2.6.1 Monitoring - Systems Without a Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-22
2.6.2 Monitoring - Systems with a Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-23
2.6.3 Rate Sampling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-23
2.7 Nontraditional Applications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24
2.7.1 Etching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24
2.7.2 Immersion in Liquids . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24
2.7.3 Biological . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-25
2.7.4 Measurement of Liquids . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-25
2.7.5 Use as a Frequency Counter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-25
2.7.6 Contamination Detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-26
Chapter 3
Installation
3.1 Installing the Instrument - Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.1.1 Control Unit Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Electrical Grounding and Shielding Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2.1 Verifying / Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.2.2 Connections to Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.2.3 Minimizing Noise Pickup from External Cabling . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.3 Connection to Rear Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.3.1 The BNC Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.3.2 The "D" Shell Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.4 Sensor Selection Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
3.5 Guidelines for Transducer Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7