INFICON LDS3000 Modular Leak Detector - Manual (Page 4)

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6.2.2 Possible layouts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.2.3 Output voltages in case of error . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.2.4 Configuration (LDS2010-compatible) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.3 Assigning the digital inputs of the I/O module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.4 Assigning the digital outputs of the I/O module . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
6.5 Starting/stopping the measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.6 Loading and storing parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.7 Select operation mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.8 Activate/deactivate Zero . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.9 Selecting a signal filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.10 Calibrating the unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
6.10.1 Internal calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
6.10.2 External calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
6.10.3 Enable/disable Calibration request . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
6.10.4 Setting machine and sniff factor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
6.11 Select sample gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
6.12 Decontaminating backing pump from test gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
6.13 Selecting units for leakage rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
6.14 Selecting units for pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
6.15 Enable/disable correction of the leakage rate in Standby . . . . . . . . . . 36
6.16 Setting the leakage rate threshold value . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.17 Enable/disable Z
ERO key (Sniffer key) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.18 Setting capillary surveillance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.19 Compatibility with LDS1000 and LDS2010 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.20 Warning and malfunction messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.20.1 Error codes of the status LED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
7 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
7.1 Maintenance and service at INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
7.2 General maintenance information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
7.3 Maintenance schedule . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
7.4 Maintenance steps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
7.4.1
Change operating fluid reservoir of turbo molecular pump . . 45
8 Taking out of service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
8.1 Shutting down the leak detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
8.2 Disposing of the mass spectrometer module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
8.3 Returning the mass spectrometer module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
9 Appendix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
9.1 EC Declaration of Incorporation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
9.2 Declaration of Contamination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51