Content, 1 about this manual, 2 safety – INFICON LDS3000 Modular Leak Detector User Manual
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1 About this manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Other applicable documents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Warnings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Text markings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2 Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
User requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
User requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
General safety information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3 Shipment check, transport, storage . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Checking shipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Construction of the unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.1
MSB box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Mechanical data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Electrical data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Physical data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Ambient conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Factory settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Rotating the MSB box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Installing the mass spectrometer module on the test system . . . . . . . 17
Connecting the mass spectrometer module to the test system . . . . . 19
Connection of the connection block . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Connecting the MSB box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Switching the unit on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Assigning the analog outputs of the I/O module . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.2.1
Factory layout . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22